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そろそろ次版が出てほしい
本書は液晶製造装置に関して、まず基本的な流れと用語に関して解説した後に、各工程ごとの解説に進むという体裁になっている。実際の使い方として索引を多用することになるが、その検索性は非常に優れている。
ただし8G基盤が量産されている今日の状況をみると少なくとも搬送系に関してはすでにいささか古い様に見受けられる。現状を基にして次の版を待ちたいところである。
＝仕様＝■本体サイズ:W255×L295×H220mm■総重量:594g■視界領域:W100×H82mm■カートリッジサイズ:W117×L142×H11.6mm■切り替え時間:1/30000秒■遮光度:遮光前#4/遮光時#5～#9、#9～#13■感度調整:11段階切替■戻り速度調整:0.1～1.0秒 10段階切替■自動切電源:手動ON/OFF、15分後に自動OFF■センサー:4箇所■電源:ソーラー電池+リチウム電池2個■紫外線、紫外線保護レベル(#):16以下■動作温
